ГОСТ Р 50116-92

Группа Э00

    
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ЭЛЕКТРОННАЯ ГИГИЕНА

Термины и определения

Microcontamination control.
Terms and definitions

    
    
OКC 01.040.31
ОКСТУ 0012

Дата введения 1993-07-01

    
    
Предисловие

    
    1 РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Техническим комитетом 303 ВНИИЭлектронстандартом
    
    2 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН в действие Постановлением Госстандарта России от 06.08.92 N 896
    
    3 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
    
    4 ПЕРЕИЗДАНИЕ
    
    

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

    
    
    Настоящий стандарт устанавливает термины и определения понятий в области электронной гигиены.
    
    Стандарт распространяется на стадии разработки, освоения и производства изделий, осуществляемые в чистых производственных помещениях на чистых рабочих местах.
    
    Термины, устанавливаемые стандартом, обязательны для применения во всех видах документации и литературы, входящих в сферу работ по стандартизации и (или) использующих результаты этих работ.
    
    1 Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин. Применение терминов-синонимов стандартизованного термина не допускается. Недопустимые термины-синонимы приведены в круглых скобках после стандартизованного термина и обозначены пометой "Ндп".
    
    2 Заключенная в круглые скобки часть термина может быть опущена при использовании термина в документах по стандартизации.
    
    Наличие квадратных скобок в терминологической статье означает, что в нее включены два термина, имеющие общие терминоэлементы.
    
    В алфавитном указателе данные термины приведены отдельно с указанием номера одной статьи.
    
    3 Приведенные определения можно при необходимости изменять, вводя в них производные признаки, раскрывая значения используемых в них терминов, указывая объекты, входящие в объем определяемого понятия. Изменения не должны нарушать объем и содержание понятий, определенных в настоящем стандарте.
    
    В случаях, когда в термине содержатся все необходимые и достаточные признаки понятия, определение не приводится, и вместо него ставится прочерк.
    
    4 В стандарте приведен алфавитный указатель терминов на русском языке.
    
    5 Термины и определения общетехнических понятий, необходимые для понимания текста стандарта, приведены в приложении.
    
    6 Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом, их краткие формы, представленные аббревиатурой, - светлым, а синонимы - курсивом.
    
    

    1 Общие понятия

    
    1.1 электронная гигиена; ЭГ (Ндп. вакуумная гигиена; электронно-вакуумная гигиена; технологическая гигиена; производственная гигиена): Комплекс обязательных требований, норм, средств и мероприятий, направленных на обеспечение заданных параметров технологического микроклимата с целью защиты изделий от неблагоприятных внешних воздействий в процессе производства.
    
    1.2 (технологический) микроклимат: Искусственно создаваемые условия воздушной и газовой среды в помещениях и на рабочих местах для защиты изделий от неблагоприятных внешних воздействий.
    
    Примечание - Воздушная среда характеризуется запыленностью, температурой, относительной влажностью, скоростью воздушного потока и его ламинарностью, избыточным давлением, уровнем вибрации и шума, напряженностью электромагнитного поля, уровнем электростатического заряда.
    
    
    1.3 чистое помещение; ЧП: Помещение, в том числе и производственное, характеризуемое по степени запыленности классом чистоты, в котором конструктивно-строительным решением и применением специальных технических средств обеспечиваются заданные параметры технологического микроклимата.
    
    1.4 чистое рабочее место; ЧРМ: Рабочее место в чистом помещении, характеризуемое по степени запыленности классом чистоты, на котором конструктивным решением и применением специальных технических средств обеспечиваются заданные параметры технологического микроклимата.
    
    1.5 класс чистоты помещения [рабочего места] (Ндп. уровень запыленности, уровень чистоты): Характеристика чистого помещения [рабочего места], определяемая нормами запыленности в них.
    
    1.6 служба электронной гигиены: Подразделение, осуществляющее координацию работ по обеспечению и контролю требований электронной гигиены.
    
    1.7 дисциплина в чистом помещении: Элемент технологической дисциплины, регламентирующий соблюдение персоналом чистого помещения требований и правил электронной гигиены, установленных в нормативно-технических документах.
    
    

    2 Характеристики технологического микроклимата

    
    2.1 (технологическое) загрязнение: Наличие твердых и жидких частиц, примесей газов, а также микроорганизмов, которые могут явиться причиной дефектов в процессе производства.
    
    2.2 источник загрязнения -
    
    2.3 запыленность воздуха [газа] (Ндп. содержание частиц, концентрация частиц): Количество частиц в единице объема воздуха [газа].
    
    Примечание - При нормировании и контроле запыленности следует указывать размер(ы) частиц.
    
    

    3 Средства обеспечения электронной гигиены

    
    3.1 средства обеспечения электронной гигиены: Комплекс технических средств обеспечения параметров технологического микроклимата, включающий в себя пылезащитное и пылеулавливающее оборудование, технологическую одежду, технологические принадлежности.
    
    3.2 пылезащитное оборудование: Оборудование, устанавливаемое в чистых помещениях для защиты изделий, технологического оборудования, оснастки и инструмента от неблагоприятных внешних воздействий, в том числе от загрязнений.
    
    Примечание - К пылезащитному оборудованию относятся пылезащитные боксы, пылезащитные кабины и микроклиматические камеры.
    
    
    3.3 термоконстантное [термовлагоконстантное] пылезащитное оборудование: Пылезащитное оборудование, в котором с заданной точностью поддерживаются температура [температура и относительная влажность] воздуха.
    
    3.4 чистая комната: Пылезащитное оборудование, представляющее собой замкнутый герметичный объем для размещения технологического оборудования или его рабочей части, оснастки, инструмента, обрабатываемых изделий, персонала и проведения технологических операций.
    
    Примечание - Чистые комнаты предназначены для проведения технологических операций, требующих высокой степени чистоты воздушной среды.
    
    
    3.5 пылезащитная (технологическая) тара: Герметичная тара из антистатических материалов, стойких к внешним воздействиям и не выделяющих пыли, предназначенная для защиты изделий от загрязнений, механических повреждений и статического электричества.
    
    Примечание - Пылезащитная тара может быть активной, имеющей системы подготовки, очистки и продувки воздуха, или пассивной, заполняемой очищенным газом или воздухом под избыточным давлением.
    
    
    3.6 технологическая одежда: Комплект одежды и обуви, предназначенный для работающих в чистых помещениях и предохраняющий изделия, оборудование, оснастку, инструмент и рабочее место от вносимых работающим загрязнений и статического электричества.
    
    Примечание - В зависимости от условий технологического процесса технологическая одежда должна быть стойкой к кислотам или щелочам, не выделяющей пыли, обладать антистатическими свойствами.
    
    
    3.7 технологические принадлежности: Средства защиты изделий, материалов, оборудования, инструмента и оснастки от попадания загрязнений с рук работающих.
    
    

    4 Производственные здания с чистыми помещениями

    
    4.1 производственное здание с чистыми помещениями: Здание, в котором обеспечены условия размещения чистых помещений.
    
    4.2 чистая зона (Ндп. гермозона): Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения чистых производственных помещений, включая зоны их обслуживания.
    
    Примечание - В чистой зоне могут находиться помещения или комнаты различного класса чистоты, имеющие различные параметры технологического микроклимата, определяемые требованиями организации технологического процесса.
    
    
    4.3 сервисная зона (Ндп. подготовительная зона): Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения помещений, в которых проводится подготовка технологических сред и материалов, снятие упаковки с оборудования при вводе его в чистые помещения и другие работы технологического обеспечения производства.
    
    4.4 зона инженерно-технического обслуживания: Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения вентиляционных камер, кондиционеров, станции подготовки воды, компрессорной станции, камеры пылеуборки, трансформаторной подстанции, системы пожаротушения, складов и других инженерных систем.
    
    4.5 зона социально-бытового обслуживания: Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения помещений блока подготовки персонала, комнат отдыха, уборных помещений, медпункта и других вспомогательных помещений.
    
    Примечание - Сервисная зона и зоны инженерно-технического и социально-бытового обслуживания, располагаемые в непосредственной близости к чистой зоне, могут быть не сгруппированы в определенной части производственного здания, а распределяться в объеме чистой и других зон. При высоких технологических требованиях указанные зоны могут включать в себя чистые помещения.
    
    

    5 Зоны чистых помещений и элементы их конструкции

    
    5.1 рабочая зона (чистого помещения): Часть чистого помещения, в которой размещается технологическое оборудование, обрабатываемые изделия, оснастка и инструмент и осуществляется технологический процесс.
    
    5.2 зона оператора: Часть чистого помещения, в которой находятся операторы, включающая проходы к рабочим местам.
    
    Примечание - Рабочая зона и зона оператора могут иметь отдельные системы очистки воздуха и соответствовать различным классам чистоты.
    
    
    5.3 зона обслуживания чистого помещения: Часть чистого помещения, расположенная смежно с чистыми комнатами и предназначенная для их обслуживания.
    
    Примечание - В зоне обслуживания могут размещаться нерабочие части технологического оборудования, системы подготовки и контроля технологических сред, включая финишные фильтры и другое вспомогательное оборудование.
    
    
    5.4 техническая зона над [под] чистым помещением: Пространство над [под] чистым помещением, технический этаж или подвал, предназначенные для размещения подводящих и магистральных воздуховодов, газопроводов, систем кондиционирования, инженерных сетей, обслуживающих чистое помещение, а также для отвода воздуха из него.
    
    5.5 фильтровальный потолок [стена]: Потолок [стена] чистого помещения, в конструкции которого размещены фильтры тонкой очистки воздуха.
    
    5.6 фильтровальный блок: Элемент фильтровального потолка или стены, состоящий из одного или группы фильтров тонкой очистки с устройством подвода воздуха.
    
    5.7 блок обеспыливания: Автономное устройство, состоящее из воздухонагнетателя и фильтров, предназначенное для создания воздушной среды заданной степени чистоты.
    
    5.8 фальшпол: Пол из сборно-разборных конструкций, не накапливающий пыль и электростатический заряд, предназначенный для отвода воздуха из чистых помещений и укрытия коммуникаций и оборудования.
    
    5.9 шлюз для персонала (Ндп. обдувочная шлюзовая камера): Устройство, устанавливаемое перед входом в чистое помещение и предназначенное для снятия струями очищенного воздуха загрязнений с технологической одежды персонала.
    
    5.10 грузовой шлюз (чистого помещения): Устройство, устанавливаемое перед грузовым входом, в чистое помещение и предназначенное для снятия с поступающих грузов загрязнений струей очищенного воздуха.
    
    

    6 Фильтрование и фильтры

    
    6.1 фильтрация: Самопроизвольное или преднамеренное прохождение жидкости или газа через пористую среду, которое может сопровождаться отделением взвешенных частиц, задерживаемых пористой средой (ГОСТ 16887).
    
    6.2 фильтрование: Преднамеренно осуществляемый процесс фильтрации для разделения жидких неоднородных систем (ГОСТ 16887).
    
    6.3 пылеуловитель: Аппарат для очистки газа от взвешенных частиц (ГОСТ 25199).
    
    6.4 фильтрующий элемент: Часть фильтра, непосредственно осуществляющая фильтрование (ГОСТ 26070).
    
    6.5 сменный фильтрующий элемент: - .
    
    6.6 фильтрующий материал: Материал, предназначенный для изготовления фильтрующих элементов и непосредственного фильтрования жидкости.
    
    Примечание - Различают следующие разновидности фильтрующих материалов: фильтровальная бумага, металлическая сетка, синтетические и натуральные ткани, пористая пластмасса, порошковый материал и другие (ГОСТ 26070).
    
    
    6.7 (воздушный) фильтр грубой очистки (Ндп. фильтр предварительной очистки): Фильтр, предназначенный для очистки от грубодисперсных частиц размером 5 мкм и более, имеющий общую эффективность 50%-60% и устанавливаемый на входе системы очистки воздуха.
    
    6.8 (воздушный) фильтр промежуточной очистки: Фильтр, предназначенный для очистки от частиц промежуточной дисперсности размером 1-5 мкм, имеющий общую эффективность 80%-85% и устанавливаемый после воздушного фильтра грубой очистки.
    
    6.9 (воздушный) фильтр тонкой очистки: Фильтр, предназначенный для очистки от высокодисперсных частиц размером менее 1 мкм, имеющий общую эффективность ~99,97% и выше и устанавливаемый после воздушного фильтра промежуточной очистки.
    
    6.10 финишный фильтр (Ндп. доводочный фильтр): Фильтр устанавливаемый непосредственно в точке потребления фильтруемой среды.
    
    6.11 коэффициент эффективности (воздушного) фильтра (Ндп. коэффициент фильтрации; эффективность очистки; эффективность фильтрации): Отношение разности запыленности воздуха на входе и на выходе воздушного фильтра к запыленности на входе.
    
    Примечания
    
    1 Коэффициент эффективности, выраженный в процентах, называется эффективностью воздушного фильтра.
    
    2 Эффективность воздушного фильтра может определяться по частицам, лежащим в определенных диапазонах размеров. Суммарная эффективность по всем регистрируемым частицам называется общей.
    
    
    6.12 коэффициент проскока (воздушного) фильтра: Отношение запыленности воздуха на выходе воздушного фильтра к запыленности на входе.
    
    6.13 перепад давлений на фильтре: Разность давлений на входе и выходе фильтра, под действием которой происходит фильтрование (ГОСТ 26070).
    
    6.14 номинальный перепад давлений на (воздушном) фильтре: Перепад давлений на незагрязненном воздушном фильтре при номинальном расходе воздуха.
    
    6.15 номинальный расход (через воздушный фильтр) (Ндп. производительность воздушного фильтра): Объем или масса фильтруемого воздуха, проходящего через воздушный фильтр в единицу времени при номинальном перепаде давлений на фильтре.
    
    6.16 пылеемкость (воздушного) фильтра: Объемное или весовое количество частиц, осаждение которых на воздушном фильтре повышает перепад давления на нем в заданное число раз при номинальном расходе через воздушный фильтр.
    
    

    7 Контроль и поддержание параметров технологического микроклимата в чистых помещениях

    
    7.1 контроль параметров (технологического) микроклимата: - .
    
    7.2 контроль запыленности воздуха: Определение количества частиц установленного размера в единице объема воздуха чистых помещений или чистых рабочих мест.
    
    7.3 отбор проб (при контроле запыленности воздуха): Установление объемов отбираемых проб воздуха, числа и длительности измерений, а также количества и расположения точек в пространстве чистого помещения или чистого рабочего места, в которых следует поместить счетчик частиц при контроле запыленности воздуха.
    
    7.4 аттестация чистых помещений [чистых рабочих мест]: Периодическая комплексная проверка параметров технологического микроклимата в чистых помещениях [на чистых рабочих местах] на соответствие требованиям нормативно-технических документов.
    
    7.5 счетчик частиц: Прибор, основанный на различных физических принципах, позволяющий провести подсчет частиц в воздухе, а также установить распределение их по размерам.
    
    7.6 оптический счетчик частиц: Светорассеивающий прибор, оснащенный регистрирующим устройством для определения количества частиц и распределения их по размерам.
    
    7.7 лазерный счетчик частиц: Оптический счетчик частиц, использующий лазер в качестве источника излучения.
    
    7.8 конденсационный счетчик частиц: Счетчик частиц, в котором для увеличения чувствительности в воздушную среду аналитической камеры вводятся пересыщенные пары вещества, которые, конденсируясь на частицах, увеличивают размер частиц.
    
    7.9 система контроля (воздушной) среды: Система, состоящая из датчиков запыленности, температуры, относительной влажности, давления и скорости воздушного потока и аппаратуры для обработки и регистрации данных об этих параметрах, позволяющая осуществлять регулярный периодический или непрерывный контроль параметров технологического микроклимата в чистых помещениях.
    
    7.10 контроль запыленности (воздуха) мембранным фильтром: Контроль, основанный на пропускании определенной порции воздуха через мембранный фильтр и подсчете количества и размера частиц, осевших на ней.
    
    7.11 контроль запыленности (воздуха) контрольной пластиной: Определение запыленности воздуха путем подсчета количества и распределения по размерам частиц, осевших на зеркальную пластину, помещенную на определенное время в заданной точке.
    
    7.12 пылеуборка: Совокупность способов и средств удаления загрязнений в чистых помещениях, в том числе осевших частиц.
    
    Примечание - Пылеуборка подразделяется на сухую, влажную и централизованную вакуумную.
    
    
    7.13 ввод оборудования (в чистое помещение): Комплекс мероприятий по обеспечению минимального внесения загрязнений в чистое помещение при транспортировании в него технологического оборудования, вводимого в действие.
    
    

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ

    
    
    
Текст документа сверен по:
официальное издание
Электроника. Термины и определения.
Часть 3: Сб. стандартов. -
М.: Стандартинформ, 2005