Р 50.2.006-2001

Группа Т84

РЕКОМЕНДАЦИИ ПО МЕТРОЛОГИИ


Государственная система обеспечения единства измерений

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА
ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ
В ДИАПАЗОНЕ от 1 до 20000 мкм

     
ОКС 17.020
ОКСТУ 0008

Дата введения 2002-01-01

Предисловие

     
     1 РАЗРАБОТАНЫ Государственным Федеральным Унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы (ВНИИМС)" Госстандарта России
     
     ВНЕСЕНЫ Управлением метрологии Госстандарта России
     
     2 ПРИНЯТЫ И ВВЕДЕНЫ В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Госстандарта России от 2 апреля 2001 г. N 156-ст
     
     3 ВВЕДЕНЫ ВПЕРВЫЕ
     
     

     1 Область применения

     
     Настоящие рекомендации распространяются на государственную поверочную схему для средств измерений толщины покрытий в диапазоне от 1 до 20000 мкм и устанавливают назначение установки высшей точности для воспроизведения единицы длины в области измерений толщины покрытий в диапазоне от 1 до 30 мкм, ее основные характеристики и порядок передачи размера единицы длины - метра (м) от установки высшей точности и эталонов, заимствованных из других поверочных схем, при помощи рабочих эталонов рабочим средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов поверки.
     
     

     2 Нормативные ссылки

     
     В настоящих рекомендациях использованы ссылки на следующие нормативные документы:
     
     ГОСТ 8.296-78 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственный специальный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax и Rz в диапазоне 0,0251600 мкм
     
     ГОСТ 2475-88 Проволочки и ролики. Технические условия
     
     ГОСТ 25373-82 Лазеры измерительные. Типы. Основные параметры. Технические требования
     
     МИ 1903-97 Государственная система обеспечения единства измерений. Эталоны толщины покрытий. Методика поверки
     
     МИ 2060-90 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 0,00001-50 м и длин волн в диапазоне 0,2-50 мкм.
     
     

     3 Установка высшей точности

     
     3.1 Установка высшей точности предназначена для воспроизведения и хранения единицы длины в области измерений толщины покрытий в диапазоне от 1 до 30 мкм и передачи размера единицы при помощи рабочих эталонов 1-го разряда рабочим средствам измерений, применяемым в народном хозяйстве, с целью обеспечения единства измерений в стране.
     
     3.2 В основу измерений толщины покрытий, выполняемых в Российской Федерации, положена единица, воспроизводимая указанной установкой высшей точности.
     
     3.3 Установка высшей точности состоит из комплекса следующих средств измерений:
     
     - оптический квантовый генератор по ГОСТ 25373;
     
     - специальный интерферометр;
     
     - система обработки информации.
     
     3.4 Диапазон значений единицы длины в области измерений толщины покрытий, воспроизводимых установкой высшей точности, составляет от 1 до 30 мкм.
     
     3.5 Установка высшей точности обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений толщины покрытий со среднеквадратическим отклонением результата измерений , не превышающим 0,006 мкм. Неисключенная систематическая погрешность  не превышает 0,009 мкм.
     
     3.6 Для обеспечения воспроизведения единицы длины в области измерений толщины покрытий с указанной точностью должны быть соблюдены правила хранения и применения установки высшей точности, утвержденные в установленном порядке.
     
     3.7 Установку высшей точности применяют для передачи размера единицы длины в области измерений толщины покрытий рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений.
     
     

     4 Рабочие эталоны

     
     4.1 Эталоны, заимствованные из других поверочных схем
     
     4.1.1 В качестве эталонов, заимствованных из других поверочных схем, применяют плоскопараллельные концевые меры длины 1-го разряда по МИ 2060, проволочки измерительные класса 0 по ГОСТ 2475 и контактные профилографы 1-го разряда по ГОСТ 8.296.
     
     4.1.2 Плоскопараллельные концевые меры длины применяют для поверки установок 1-го разряда, предназначенных для поверки мер толщины покрытий, и установок 2-го разряда, предназначенных для поверки магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий методом прямых измерений.
     
     4.1.3 Проволочки измерительные класса 0 применяют для косвенных измерений мер толщины немагнитных токопроводящих покрытий на диэлектрических основаниях трубчатых 1-го разряда.
     
     4.1.4 Контактные профилографы применяют для поверки эталонных 2-го разряда и рабочих мер толщины покрытий в соответствии с МИ 1903.
     
     4.2 Рабочие эталоны 1-го разряда
     
     4.2.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют:
     
     установки для поверки мер толщины покрытий в диапазоне от 1 до 1000 мкм;
     
     меры толщины немагнитных токопроводящих покрытий на диэлектрических основаниях трубчатые (диаметр от 0,6 до 1,5 мм) в диапазоне от 5 до 100 мкм;
     
     меры толщины полупроводниковых покрытий на диэлектрических основаниях в диапазоне от 5 до 30 мкм;
     
     меры толщины диэлектрических покрытий на полупроводниковых основаниях в диапазоне от 1 до 5 мкм.
     
     4.2.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей для установок 1-го разряда  не превышают (0,05+0,01) мкм (где       - толщина покрытия в мкм), для мер толщины покрытий трубчатых  - не превышают 0,6 мкм, для других мер толщины покрытий - не превышают (0,1+0,025) мкм.
     
     4.2.3 Установки 1-го разряда применяют для поверки эталонных 2-го разряда и рабочих мер толщины покрытий методом прямых измерений.
     
     Меры толщины покрытий трубчатые 1-го разряда применяют для поверки мер толщины покрытий трубчатых 2-го разряда сличением при помощи компаратора.
     
     Меры толщины покрытий на полупроводниковых и диэлектрических основаниях применяют для поверки соответствующих рабочих толщиномеров покрытий методом прямых измерений.
     
     4.3 Рабочие эталоны 2-го разряда
     
     4.3.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют меры толщины покрытий в диапазоне от 2 до 1000 мкм, меры толщины немагнитных токопроводящих покрытий на диэлектрических основаниях трубчатые в диапазоне от 5 до 100 мкм и установки для поверки магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий в диапазоне от 1 до 20000 мкм.
     
     4.3.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей  мер толщины покрытий составляют от (0,1+0,025) до (0,3+0,025) мкм, мер толщины покрытий трубчатых не превышают 1,5 мкм, установок для поверки магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий не превышают 0,6 мкм в диапазоне от 1 до 50 мкм; 2,0 мкм - в диапазоне от 50 до 2000 мкм; 20 мкм - в диапазоне от 2000 до 20000 мкм.
     
     4.3.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки толщиномеров методом прямых измерений, рабочих мер толщины покрытий трубчатых сличением при помощи компаратора.
     
     

     5 Рабочие средства измерений

     
     5.1 В качестве рабочих средств измерений применяют меры толщины покрытий различных сочетаний материалов оснований и покрытий, меры толщины покрытий трубчатые и толщиномеры покрытий, сгруппированные по назначению в зависимости от вида материалов покрытий и оснований измеряемых объектов.
     
     5.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей  мер толщины покрытий составляют от (0,2+0,05) до (0,3+0,05) мкм, мер толщины покрытий трубчатых не превышают 2,5 мкм.
     
     Пределы допускаемых абсолютных погрешностей толщиномеров покрытий  составляют от 0,4 до 200,0 мкм.
     
     

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ В ДИАПАЗОНЕ от 1 до 20000 мкм

     
     
     
Текст документа сверен по:
официальное издание

М.: ИПК Издательство стандартов, 2001