Термин

Определение

ОБЩИЕ ПОНЯТИЯ

1. Вакуум

D. Vakuum

Е. Vacuum

F. Vide

Состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного

2. Вакуумная техника

D. Vakuumtechnik

Е. Vacuum technology

F. Technique du vide

Техника получения, поддержания вакуума и проведения вакуумных измерений

3. Степень вакуума

D. Vakuumbereiche

Е. Ranges of vacuum

F. Domaines de vide

Характеристика вакуума в интервалах давлений, определяющих соотношение средней длины свободного пути молекул с линейным размером откачиваемого сосуда, характерным для рассматриваемого процесса.

Примечание. Принимают следующие интервалы давлений:

от 100 кПа до 100 Па - для низкого вакуума;

от 100 Па до 0,1 Па - для среднего вакуума;

от 0,1 Па до 10 мкПа - для высокого вакуума;

ниже 10 мкПа - для сверхвысокого вакуума

4. Вакуумное масло

D.

Е. Vacuum pump oil

F. Huile de pompe vide primaire
    

Масло с малой упругостью паров, предназначенное для применения в вакуумных насосах

ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА И ЕЕ ЭЛЕМЕНТЫ

5. Вакуумная система

D. Vakuumsystem

Е. Vacuum system

F. vide

Совокупность взаимосвязанных устройств для создания, повышения и поддержания вакуума, приборов для вакуумных измерений, а также откачиваемых сосудов и связывающих их вакуумных трубопроводов

6. Вакуумная установка

D. Vakuumanlage

Е. Vacuum plant

F. Installation de vide

Установка, состоящая из вакуумной системы и устройств, обеспечивающих ее действие

7. Вакуумный агрегат

D. Vakuumeinheit

Е. Vacuum unit

F. vide

Вакуумная установка, конструктивно выполненная как единое целое

8. Откачной пост

D. Pumpstand

Е. Pumping station

F. Stand de pompage

Вакуумная установка, предназначенная для откачки, наполнения и тренировки изделий

9. Откачиваемый вакуумный сосуд

D. Vakuumkamer

Е. Pumped container

F. Enceinte

Сосуд, в котором создается вакуум

10. Элемент вакуумной системы

D. Vakuumsystemselement

Е. Element of vacuum system

F. Element du vide

-

11. Вакуумный насос

D. Vakuumpumpe

Е. Vacuum pump

F. Pompe vide

Устройство, предназначенное для создания, повышения и поддержания вакуума

12. Вакуумная ловушка

D. Falle

Е. Trap

F.

Элемент вакуумной системы, предназначенный для предотвращения проникновения паров и газов из одной части вакуумной системы в другую или для снижения их парциального давления

13. Вакуумный клапан

D. Vakuumventil

Е. Vacuum valve

F. Soupape de vide

Элемент вакуумной системы, позволяющий регулировать или полностью перекрывать поступление газа в вакуумную систему

14. Вакуумный затвор

D. Vakuumschlensenventil

Е. Vacuum gate valve

F.

Вакуумный клапан, позволяющий соединять и разобщать элементы вакуумной системы

15. Напускной вакуумный клапан

D. Beluftungsvakuumventil

Е. Admittance vacuum valve

F. Robinet d'air

Вакуумный клапан, предназначенный для напуска воздуха или газа в вакуумную систему

16. Вакуумный натекатель

D. Nadelvakuumventil

E. Air admittance vacuum valve

F. Robinet aiguille

Напускной вакуумный клапан, предназначенный для напуска малых потоков газа и их регулировки

17. Вакуумный ввод

D.

E. Vacuum feedthrough

F. Passage du vide

Элемент вакуумной системы, служащий для передачи в откачиваемый вакуумный сосуд механической или электрической энергии без нарушения вакуума

18. Вакуумный трубопровод

D. Vakuumrohrleitung

E. Vacuum pipework

F. Conduite vide

Элемент вакуумной системы, представляющий собой трубопровод, по которому перемещается газ

19. Форвакуумный трубопровод

D. Vorpumpenrohrleitung

E. Backing line

F. Conduite vide

Вакуумный трубопровод, служащий для присоединения к форвакуумному насосу

20. Байпасный трубопровод

D. Umwegleitung

E. Bypass line

F. Conduite by-pass

Вакуумный трубопровод, предназначенный для откачки сосуда, минуя высоковакуумный насос

21. Вакуумное защитное устройство

D. Vakuumsicherheitsvorrichtung

E. Vacuum protective device

F. Dispositif de

Элемент вакуумной системы, предназначенный для быстрого разобщения участка вакуумной системы, где произошел прорыв атмосферного воздуха, и остальной ее части

22. Уравнительный вакуумный баллон

D. Druckausgleichskolben

E. Equal vessel

F. Ballon de pression
    

Элемент вакуумной системы, предназначенный для выравнивания колебаний давления в ней

ВИДЫ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

23. Низковакуумный насос

D. Grobvakuumpumpe

E. Rough vacuum pump

F. Pompe vide primaire

Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме, начиная от атмосферного, и создающий давление, лежащее в интервале, характерном для низкого вакуума

24. Высоковакуумный насос

D. Endvakuumpumpe

E. High vacuum pump

F. Pompe vide secondaire

Вакуумный насос, работающий на ступени самого низкого давления системы, состоящей из двух или более последовательно соединенных насосов

25. Форвакуумный насос

D. Vorvakuumpumpe

E. Backing vacuum pump

F. Pompe primaire pour Ie vide

Вакуумный насос, предназначенный для поддержания давления в выходном сечении насоса более высокого вакуума, при котором последний может обеспечивать заданные параметры откачки

26. Бустерный вакуумный насос

D. Boostervakuumpumpe

E. Booster vacuum pump

F. Pompe vide

Вакуумный насос, устанавливаемый между форвакуумным и высоковакуумным насосами с целью приведения в соответствие выпускного давления высоковакуумного насоса с впускным давлением форвакуумного насоса

27. Вакуумный насос предварительного разрежения

D. Vorvakuumpumpe

E. Roughing vacuum pump

F. Pompe pour Ie vide
    

Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме от атмосферного до значения, при котором может начать работу другой вакуумный насос или система насосов

ГАЗОПЕРЕКАЧИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

28. Газоперекачивающий вакуумный насос

D. Gastransfervakuumpumpe

E. Pump for gas transporting

F. Pompe vide du transport gazeus

Вакуумный насос, в котором перемещение газа от входа к выходу осуществляется либо вследствие механического движения рабочих частей насоса, либо за счет захвата газа или молекул газа струей рабочего вещества, либо за счет воздействия электрического и магнитного полей или одного электрического поля

29. Механический вакуумный насос

D. Rotationsvakuumpumpe

E. Vacuum mechanical pump

F. Pompe vide

Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на перемещении газа вследствие механического движения рабочих частей насоса

30. Вакуумный насос объемного действия

D.

E. Positive displacement vacuum pump

F. Pompe vide

Механический вакуумный насос, в котором объем, заполненный газом, периодически отсекается от входа и перемещается к выходу

31. Поршневой вакуумный насос

D. Hubkolbenvakuumpumpe

Е. Piston vacuum pump

F. Pompe vide piston alternatif

Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа происходят в результате возвратно-поступательного движения поршня

32. Вакуумный насос с масляным (жидкостным) уплотнением

D. (flussigkeitsgedichtete) Vakuumpumpe

Е. Oil-sealed (liquid-sealed) vacuum pump

F. Pompe vide bain d'huile ( bain de liquide)

Вакуумный насос объемного действия, в котором для заполнения зазоров между движущимися относительно друг друга рабочими частями насоса и для уменьшения вредного пространства в рабочей камере в конце процесса сжатия используют вакуумное масло или жидкость

33. Газобалластный вакуумный насос

D. Gasballastvakuumpumpe

Е. Gas ballast vacuum pump

F. Pompe vide injection de gaz

Вакуумный насос с масляным уплотнением, снабженный устройством для дозированной подачи неконденсирующегося газа с целью предотвращения конденсации откачиваемых паров в насосе

34. Вакуумный насос с сухим уплотнителем

D. Trockenlaufende Vakuumpumpe

Е. Dry-sealed vacuum pump

F. Pompe vide

Вакуумный насос объемного действия без масляного (жидкостного) уплотнения

35. Вращательный вакуумный насос

D.

Е. Rotary vacuum pump

F. Pompe vide tournant

Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа осуществляются в результате вращения ротора

36. Пластинчато-роторный вакуумный насос

D. Drehschiebervakuumpumpe

Е. Sliding vane rotary vacuum pump

F. Pompe vide palettes

Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается тангенциально относительно неподвижной поверхности статора, при этом две или более пластины, скользящие в прорезях ротора и прижимающиеся к внутренней стенке статора, делят камеру статора на полости с изменяющимся объемом

37. Пластинчато-статорный вакуумный насос

D. Drehkolbenvakuumpumpe

Е. Rotary piston vacuum pump

F. Pompe vide piston tournant

Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается, скользя по внутренней стенке статора, при этом пластина, движущаяся относительно статора, прижимается к ротору и делит рабочую камеру на части с изменяющимся объемом

38. Плунжерный вакуумный насос

D. Sperrschiebervakuumpumpe

Е. Rotary plunger vacuum pump

F. Pompe vide piston oscillant

Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается относительно внутренней стенки статора, при этом пластина, жестко закрепленная на роторе, делит рабочую камеру на полости с изменяющимся объемом и скользит в золотнике, колеблющемся в соответствующем гнезде статора

39. Жидкостно-кольцевой вакуумный насос

D.

Е. Liquid ring vacuum pump

F. Pompe vide anneau liquide

Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор с закрепленными на нем лопатками отбрасывает жидкость к стенке статора; жидкость принимает форму кольца, концентрического относительно статора, и вместе с лопатками ротора образует полости с изменяющимся объемом

40. Двухроторный вакуумный насос

D.

Е. Roots vacuum pump

F. roots

Вращательный вакуумный насос, рабочая камера в котором образуется корпусом и профильными роторами, синхронно вращающимися в противоположных направлениях

41. Трохоидный вакуумный насос

D. Kreiskolbenvakuumpumpe

Е. Trochoid pump

F. Pompe trochoide

Вращательный вакуумный насос, у которого центр тяжести ротора, имеющего в поперечном сечении эллипс, описывает окружность, а рабочая камера насоса имеет в поперечном сечении форму трохоиды

42. Кинетический вакуумный насос

D. Kinetische Vakuumpumpe

Е. Kinetic vacuum pump

F. Pompe vide

Механический вакуумный насос, в котором молекулам газа импульс движения передается таким образом, что газ непрерывно перемещается от входа к выходу насоса

43. Вакуумный турбонасос

D. Turbovakuumpumpe

Е. Turbine vacuum pump

F. turbine

Кинетический вакуумный насос, в котором импульс движения газу передается от вращающихся твердых поверхностей

44. Осевой вакуумный турбонасос

D. Axialische Turbovakuumpumpe

Е. Axial flow turbine vacuum pump

F. turbine flux axial

Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу вдоль оси вращения

45. Центробежный вакуумный турбонасос

D. Radialische Turbovakuumpumpe

Е. Radial flow turbine vacuum pump

F. turbine flux radial

Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу в радиальном направлении

46. Струйный вакуумный насос

D. Treibmittelvakuumpumpe

Е. Jet kinetic vacuum pump

F. Pompe vide jet

Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на захвате удаляемого газа струей жидкости, пара или газа

47. Жидкостно-струйный вакуумный насос

D.

Е. Liquid jet vacuum pump

F. Pompe vide anneau liquide

Струйный вакуумный насос, в котором используют струю жидкости

48. Газоструйный вакуумный насос

D. Gasstrahlvakuumpumpe

Е. Gas jet vacuum pump

F. Ejecteur gaz pour Ie vide

Струйный вакуумный насос, в котором используют струю газа

49. Пароструйный вакуумный насос

D. Dampfstrahlvakuumpumpe

Е. Vapour jet vacuum pump

F. Ejecteur vapeur pour Ie vide

Струйный вакуумный насос, в котором используют струю пара

50. Эжекторный вакуумный насос

D. Treibmittelstrachlvakuumpumpe

Е. Ejector vacuum pump

F. Pompe vide ejecteur

Пароструйный низковакуумный насос, в котором происходит турбулентно-вязкостный захват газа струей

51. Диффузионный вакуумный насос

D. Diffusionsvakuumpumpe

Е. Diffusion pump

F. Pompe diffusion

Пароструйный высоковакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю

52. Диффузионно-эжекторный вакуумный насос

D. Diffusionsjekterpumpe

Е. Diffusion-ejector pump

F. Pompe diffusion et ejecteur

Пароструйный вакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю и турбулентно-вязкостного захвата газа струей

53. Самоочищающийся диффузионный вакуумный насос

D. Selbstreinigende

Е. Self purifying diffusion pump

F. Pompe diffusion autorectifiante

Диффузионный вакуумный насос специальной конструкции, в котором летучие примеси не возвращаются в кипятильник, а направляются к выходу

54. Фракционный диффузионный вакуумный насос

D. Fraktionierende

Е. Fractionating diffusion pump

F. Pompe diffusion fractionnante

Диффузионный вакуумный насос, в котором откачка газа из ступени самого низкого давления осуществляется более плотными компонентами рабочего вещества, представляющими собой струю пара низкого давления, а откачка из ступеней более высокого давления - менее плотными компонентами с более высоким давлением пара

55. Ионный вакуумный насос

D. lonentransferpumpe

Е. Ion transfer vacuum pump

F. Pompe ionisation vide
    

Кинетический вакуумный насос, в котором молекулы газа ионизируются, а затем перемещаются к выходу насоса при помощи электрического и магнитного полей или одного электрического поля

ГАЗОУЛАВЛИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

56. Газоулавливающий вакуумный насос

D. Gasbindende Vakuumpumре

Е. Entrapment vacuum pump

F. Pompe vide fixation

Вакуумный насос, в котором используется принцип сорбции или конденсации молекул газа на внутренних поверхностях насоса

57. Сорбционный вакуумный насос

D. Sorptionspumpe

Е. Sorption vacuum pump

F. Pompe vide sorption

Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие сорбции газа

58. Адсорбционный вакуумный насос

D. Adsorptionspumpe

Е. Adsorption vacuum pump

F. Pompe vide physisorption

Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие физической сорбции газа пористым сорбентом при низкой температуре

59. Геттерный вакуумный насос

D. Gettervakuumpumpe

Е. Getter vacuum pump

F. Pompe vide sorbeur

Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит преимущественно вследствие хемосорбции газа геттером

60. Испарительный геттерный вакуумный насос

D. Sublimations getter vakuumpumpe

Е. Sublimation vacuum pump

F. Pompe vide sublimation sorbeur

Геттерный вакуумный насос, в котором поглощающая поверхность обновляется путем конденсации на ней термически испаряемого геттера

61. Геттерно-ионный вакуумный насос

D. lonengettervakuumpumpe

Е. Getter ion vacuum pump

F. Pompe vide ionique sorbeur

Геттерный вакуумный насос, в котором, наряду с хемосорбцией, возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распыленного геттера

62. Испарительно-ионный вакуумный насос

D. lonenverdampfervakuumpumpe

Е. Sublimation ion vacuum pump

F. Pompe vide ionique sublimation

Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодического испарения

63. Магнитный электроразрядный вакуумный насос

D.

Е. Sputter ion pump

F. Pompe ionique

Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле

64. Конденсационный вакуумный насос

D. Kondensationspumpe

Е. Condenserpump

F. Pompe condenser

Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачку производят путем конденсации газа на охлаждаемых поверхностях

65. Вакуумный крионасос

D. Kryovakuumpumpe

Е. Cryopump

F. Pompe cryostatique

Конденсационный или сорбционный насос с рабочими поверхностями, охлаждаемыми до сверхнизких температур

66. Комбинированный вакуумный насос

D. Vakuumpumpkombination

Е. Combined vacuum pump

F. Pompe vide
    
    

Комбинации геттерного вакуумного насоса, магнитного электроразрядного вакуумного насоса и вакуумного крионасоса в различных сочетаниях, размещенных в одном корпусе

ВИДЫ ВАКУУМНЫХ ЛОВУШЕК

67. Конденсационная вакуумная ловушка

D.

Е. Cold trap

F. refroidi

Вакуумная ловушка, действие которой основано на конденсации паров и газов на внутренних охлаждаемых поверхностях

68. Сорбционная вакуумная ловушка

D. Sorptionsfalle

Е. Sorption trap

F. sorption

Вакуумная ловушка, действие которой основано на сорбции паров и газов поверхностью пористого сорбента

69. Ионная вакуумная ловушка

D. lonisierungsfalle

Е. Ion trap

F. ionique
    

Вакуумная ловушка, в которой для удаления определенных нежелательных компонентов из газовой смеси используется их ионизация

ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ

70. Быстрота откачки

D.

Е. Pumping rate

F.

Величина, характеризующаяся объемом газа, откачиваемым в единицу времени в определенном сечении при данном давлении, измеренном в том же сечении

71. Быстрота действия вакуумного насоса

D.

Е. Volume flow rate of vacuum pump

F. d'une pompe vide

Величина, характеризующаяся быстротой откачки, получаемой во входном сечении насоса при его работе

72. Наибольшее давление запуска вакуумного насоса

D. Startdruck

Е. Starting pressure

F. Pression d'amorcage

Наибольшее давление во входном сечении вакуумного насоса, при котором насос может начать работать

73. Наибольшее выпускное давление вакуумного насоса

D. Maximal Vorvakuumdruck

Е. Maximum backing pressure

F. Pression maximale de refoulement

Наибольшее давление в выходном сечении вакуумного насоса, при котором насос еще осуществляет откачку

74. Наибольшее рабочее давление вакуумного насоса

D. Maximaler Arbeitsdruck

Е. Maximum working pressure

F. Pression maximale de fonctiounement

Наибольшее давление во входном сечении насоса, при котором насос длительное время сохраняет номинальную быстроту действия

75. Предельное остаточное давление вакуумного насоса

D. Enddruck einer Vakuumpumpe

Е. Ultimate pressure of vacuum pump

F. Pression limite d'une pompe vide

Давление, к которому асимптотически стремится давление в стандартизованном испытательном объеме без выпуска газа и при нормально работающем насосе

76. Наибольшая производительность вакуумного насоса по парам воды

D. Maximal Wasserdampf

Е. Maximum rate of handling water vapour

F. de pompage de vapeur d'eau admissible

Наибольшее количество паров воды в весовых единицах, которое может откачиваться газобалластным вакуумным насосом при длительной работе в нормальных климатических условиях

77. Наибольшее допустимое давление паров воды

D.

Е. Maximum tolerable water vapour inlet pressure

F. Pression maximale d'aspiration de vapeur d'eau

Наибольшее давление паров воды, измеренное во входном сечении насоса, при котором газобалластный вакуумный насос может длительно откачивать пары воды в нормальных климатических условиях

78. Степень сжатия вакуумного насоса

D.

Е. Compression ratio

F. Taux de compression

    

Отношение объемов, занимаемых газом в начале и в конце процесса сжатия в вакуумных насосах объемного действия

ВАКУУММЕТРЫ

79. Вакуумметр

D. Vakuummeter

Е. Vacuummeter

F. vide

По ГОСТ 8.271-77

80. Абсолютный вакуумметр

D. Absolutes Vakuummeter

Е. Absolute vacuum gauge

F. absolu

Вакуумметр, чувствительность которого одинакова для всех газов и может быть рассчитана по измеряемым физическим величинам

81. Дифференциальный вакуумметр

D. Differenzdruckvakuummeter

Е. Differential vacuum gauge

F.

Вакуумметр для измерения разности давлений, существующих одновременно по обе стороны разделительного чувствительного элемента

82. Измерительный преобразователь давления

D. Druckmessunformer

Е. Gauge pressure transducer

F. Transducteur de mesure pression

По ГОСТ 8.271-77

83. Измерительный блок вакуумметра

D. Betriebs und eines

Е. Gauge control unit

F. Coffret d'alimentation et de mesure

Часть вакуумметра, предназначенная для выработки сигнала измерительной информации в форме, доступной для непосредственного восприятия наблюдателем, и содержащая блок питания и все электрические цепи, необходимые для работы вакуумметра

84. Отсчетное устройство вакуумметра

D. eines  

Е. Gauge indicating unit

F. Dispositif indicateur

Часть измерительного блока вакуумметра, предназначенная для отсчитывания значений измеряемой величины

85. Вакуумметр полного давления

D. Totaldruckvakuummeter

Е. Total pressure vacuum gauge

F. de pression totale

Вакуумметр для измерения суммарного давления, оказываемого всеми компонентами газовой смеси

86. Жидкостный вакуумметр

D.

Е. Liquid level manometer

F. liquide

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления или разности давлений давлением столба жидкости

87. U-образный вакуумметр

D. U-leitung Vakuummeter

Е. U-tube vacuum gauge

F. Avec unetube en U-

Жидкостный вакуумметр, состоящий из сообщающихся сосудов, в которых измеряемое давление определяют по одному или нескольким уровням жидкости

88. Компрессионный вакуумметр

D. Kompressionsvakuummeter

Е. Compression gauge

F. compression

Жидкостный вакуумметр, в котором для измерения давления разреженного газа последний подвергается предварительному сжатию

89. Деформационный вакуумметр

D. Federelastisches Vakuummeter

Е. Elastic element gauge

F.

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости деформации чувствительного элемента или развиваемой им силы от измеряемого давления

90. Мембранный вакуумметр

D. Membranvakuummeter

Е. Diaphragm gauge

F. membrane
         

Деформационный вакуумметр, в котором чувствительным элементом является мембрана или мембранная коробка

91. Грузопоршневый вакуумметр

D. Druckwaage

Е. Pressure balance

F. piston

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления давлением, создаваемым массой поршня с грузоприемным устройством и грузами, с учетом сил жидкостного трения

92. Вязкостный вакуумметр

D. Reibungsvakuummeter

Е. Viscosity gauge

F.

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости вязкости разреженного газа, определяемой движением в нем твердого тела, от измеряемого давления

93. Тепловой вакуумметр

D.

Е. Thermal conductivity gauge

F. conduction thermique

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости теплопроводности разреженного газа от давления

94. Термопарный вакуумметр

D. Thermokreuz

Е. Thermocouple gauge

F. thermocouple

Тепловой вакуумметр, в котором использована зависимость эдс термопары от измеряемого давления

95. Вакуумметр сопротивления

D. Thermistor-Vakuummeter

Е. Thermistor gauge

F. thermistance

Тепловой вакуумметр, действие которого основано на зависимости электрического сопротивления нагреваемого током элемента от давления газа

96. Термомолекулярный вакуумметр

D. Molekularvakuummeter

Е. Thermo-molecular gauge

F. thermomoleculaire

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на передаче чувствительному элементу суммарного импульса молекул газа, отражающихся от поверхностей, имеющих различную температуру

97. Ионизационный вакуумметр

D. lonisationsvakuummeter

Е. lonisation vacuum gauge

F. ionisation

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости ионного тока, образованного в газе в результате ионизации молекул разреженного газа от давления

98. Радиоизотопный ионизационный вакуумметр

D. lonisationsvakuummeter mit radioaktiver Strahlungsquelle

Е. Radioactive ionization gauge

F. source radioactive

Ионизационный вакуумметр, в котором для ионизации газа применяют излучение радиоактивных источников

99. Магнитный электроразрядный вакуумметр

D.

Е. Sputter ion gauge

F. ionique pulverisation

Ионизационный вакуумметр, действие которого основано на зависимости тока электрического разряда в магнитном поле от измеряемого давления

100. Вакуумметр Пеннинга

D. Penningvakuummeter

Е. Penning gauge

F. de Penning

Магнитный электроразрядный вакуумметр, преобразователь которого имеет рамочный анод, расположенный между катодными пластинами

101. Электронный ионизационный вакуумметр

D. Elektronenionisations Vakuummeter

Е. Electronic type ionization vacuum

F. ionization faisceau

Ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого ионизация газа осуществляется электронами, ускоряемыми электрическим полем

102. Электронный ионизационный вакуумметр с осевым коллектором

D. Elektronenionisations Vakuummeter mit Axialkollektor

Е. Twin-wire oscillator gauge

F. oscillants

Электронный ионизационный вакуумметр, в котором фоновое давление уменьшено за счет использования в качестве коллектора ионов тонкой проволоки, помещенной соосно с цилиндрической сеткой, при этом катод укрепляют снаружи сетки

103. Экстракторный вакуумметр

D. lonisationsvakuummeter mit Extraktor-System

E. Extractor gauge

F. extracteur

Электронный ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого фоновый ток уменьшен за счет использования в качестве коллектора ионов короткой и тонкой проволоки, находящейся на оси анода и выведенной из области ионизации

104. Электронный ионизационный вакуумметр с магнитным полем

D. Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode

E. Cold cathode magnetron gauge

F. cathode froide

Электронный ионизационный вакуумметр, преобразователь давления которого представляет собой цилиндрический магнетрон, в котором магнитное поле используется для удлинения траектории электронов и увеличения числа образованных ионов

105. Индикатор с разрядной трубкой

D.

E. Discharge tube indicator

F. Tube

Прозрачная газоразрядная трубка, в которой цвет и форма свечения разряда дают представление о роде и давлении газа

106. Вакуумметр парциального давления

D. Partialdruckvakuummeter

E. Partial pressure vacuum gauge

F. Analyseur de pressions partielles

Вакуумметр для измерения давления, которое оказывал бы один из газов, входящих в газовую смесь, если из нее удалить остальные газы при условии сохранения первоначальных объема и температуры.

Примечание. Обычно это масс-спектрометры, не имеющие собственной откачной системы

107. Масс-спектрометр

D. Massenspektrometer

E. Mass spectrometer

F. de masse
    

По ГОСТ 15624-75

ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУММЕТРОВ

108. Диапазон измерений

D.

E. Pressure range

F. Etendue de mesurage

По ГОСТ 16263-70*.

Примечание. Для некоторых типов вакуумметров этот диапазон зависит от природы газа. В таких случаях должен быть указан диапазон давлений для азота

________________

    * На территории Российской Федерации действуют РМГ 29-99. Здесь и далее по тексту. - Примечание изготовителя базы данных.

109. Чувствительность

D. Empfindlichkeit

E. Sensitivity

F.

По ГОСТ 16263-70.

Примечание. Для некоторых типов вакуумметров чувствительность зависит от природы газа. В таких случаях должна быть указана чувствительность для азота

110. Относительная чувствительность вакуумметра

D. Relative Vakuummeterempfindlicnkeit

E. Relative sensitivity factor

F. Facteur de relative

Отношение чувствительности вакуумметра для данного газа к чувствительности его для азота при том же давлении и идентичных условиях измерения

111. Приведенная чувствительность ионизационного вакуумметра

D. Vakuummeterkonstante eines lonisationsvakuummeters

E. lonization gauge coefficient

F. Coefficient d'un ionisation

Отношение ионного тока для данного газа к произведению ионизирующего тока и соответствующего давления

112. Эквивалентное азотное давление

D. Stickstoffaquivalentdruck

E. Equivalent nitrogen pressure

F. Pression d'azote

Давление чистого азота, которое давало бы показание вакуумметра, равное показанию, вызванному воздействующим на него газом

113. Фоновое давление вакуумметра

D. Untergrunddruck

E. Background pressure

F. Pression residuelle

Условное давление чистого азота, соответствующее такому же показанию ионизационного вакуумметра, как при остаточном токе, не зависящем от давления

Агрегат вакуумный

7

Баллон вакуумный уравнительный

22

Блок вакуумметра измерительный

83

Быстрота действия вакуумного насоса

71

Быстрота откачки

70

Вакуум

1

Вакуумметр

79

Вакуумметр абсолютный

80

Вакуумметр вязкостный

92

Вакуумметр грузопоршневой

91

Вакуумметр деформационный

89

Вакуумметр дифференциальный

81

Вакуумметр жидкостный

86

Вакуумметр ионизационный

97

Вакуумметр ионизационный радиоизотопный

98

Вакуумметр ионизационный электронный

101

Вакуумметр ионизационный электронный с магнитным полем

104

Вакуумметр ионизационный электронный с осевым коллектором

102

Вакуумметр компрессионный

88

Вакуумметр магнитный электроразрядный

99

Вакуумметр мембранный

90

Вакуумметр парциального давления

106

Вакуумметр Пеннинга

100

Вакуумметр полного давления

86

Вакуумметр сопротивления

95

Вакуумметр тепловой

93

Вакуумметр термомолекулярный

96

Вакуумметр термопарный

94

Вакуумметр U-образный

87

Вакуумметр экстракторный

103

Ввод вакуумный

17

Давление вакуумметра фоновое

113

Давление вакуумного насоса выпускное наибольшее

73

Давление вакуумного насоса предельное остаточное

75

Давление запуска вакуумного насоса наибольшее

72

Давление вакуумного насоса наибольшее рабочее

74

Давление паров воды наибольшее допустимое

77

Давление эквивалентное азотное

112

Диапазон измерений

108

Затвор вакуумный

14

Индикатор с разрядной трубкой

105

Клапан вакуумный

13

Клапан вакуумный напускной

15

Крионасос вакуумный

65

Ловушка вакуумная

12

Ловушка вакуумная ионная

69

Ловушка вакуумная конденсационная

67

Ловушка вакуумная сорбционная

68

Масло вакуумное

4

Масс-спектрометр

107

Насос вакуумный

11

Насос вакуумный адсорбционный

58

Насос вакуумный бустерный

26

Насос вакуумный вращательный

35

Насос вакуумный газобалластный

33

Насос вакуумный газоперекачивающий

28

Насос вакуумный газоструйный

48

Насос вакуумный газоулавливающий

56

Насос вакуумный геттерный

59

Насос вакуумный геттерный испарительный

60

Насос вакуумный геттерно-ионный

61

Насос вакуумный двухроторный

40

Насос вакуумный диффузионный

51

Насос вакуумный диффузионно-эжекторный

52

Насос вакуумный диффузионный самоочищающийся

53

Насос вакуумный диффузионный фракционный

54

Насос вакуумный жидкостно-кольцевой

39

Насос вакуумный жидкостно-струйный

47

Насос вакуумный ионный

55

Насос вакуумный испарительно-ионный

62

Насос вакуумный кинетический

42

Насос вакуумный комбинированный

66

Насос вакуумный конденсационный

64

Насос вакуумный магнитный электроразрядный

63

Насос вакуумный механический

29

Насос вакуумный объемного действия

30

Насос вакуумный пароструйный

49

Насос вакуумный пластинчато-роторный

36

Насос вакуумный пластинчато-статорный

37

Насос вакуумный плунжерный

38

Насос вакуумный поршневой

31

Насос вакуумный предварительного разрежения

27

Насос вакуумный с масляным (жидкостным) уплотнением

32

Насос вакуумный с сухим уплотнением

34

Насос вакуумный сорбционный

57

Насос вакуумный струйный

46

Насос вакуумный трохоидный

41

Насос вакуумный эжекторный

50

Насос высоковакуумный

24

Насос низковакуумный

23

Насос форвакуумный

25

Натекатель вакуумный

16

Преобразователь давления измерительный

82

Производительность вакуумного насоса по парам воды наибольшая

76

Пост откачной

8

Система вакуумная

5

Сосуд откачиваемый вакуумный

9

Степень вакуума

3

Степень сжатия вакуумного насоса

78

Техника вакуумная

2

Трубопровод байпасный

20

Трубопровод вакуумный

18

Трубопровод форвакуумный

19

Турбонасос вакуумный

43

Турбонасос вакуумный осевой

44

Турбонасос вакуумный центробежный

45

Установка вакуумная

6

Устройство вакуумметра отсчетное

84

Устройство защитное вакуумное

21

Чувствительность

109

Чувствительность вакуумметра относительная

110

Чувствительность ионизационного вакуумметра приведенная

111

Элемент вакуумной системы

10

Absolutes Vakuummeter

80

Adsorptionspumpe

58

eines

84

Axialische Turbovakuumpumpe

44

Beluftungsvakuumventil

15

Betriebs und eines

83

Boostervakuumpumpe

26

Dampfstrahlvakuumpumpe

49

Differenzdruckvakuummeter

81

Diffusionsjekterpumpe

52

Diffusionsvakuumpumpe

51

Drehkolbenvakuumpumpe

37

Drehschiebervakuumpumpe

36

Druckausgleichskolben

22

Druckmessunformer

82

Druckwaage

91

Elektronenionisations Vakuummeter

101

Elektronenionisations Vakuummeter mit Axialkollektor

102

Empfindlichkeit

109

Enddruck einer Vakuumpumpe

75

Endvakuumpumpe

24

Falle

12

Federelastisches Vakuummeter

89

39

47

86

Fraktionierende

54

Gasballastvakuumpumpe

33

Gasbindende Vakuumpumpe

56

Gasstrahlvakuumpumpe

48

Gastransfervakuumpumpe

28

Gettervakuumpumpe

59

Grobvakuumpumpe

23

105

Hubkolbenvakuumpumpe

31

lonengettervakuumpumpe

61

lonentransferpumpe

55

lonenverdampfervakuumpumpe

62

63

99

lonisationsvakuummeter

97

lonisationsvakuummeter mit Extraktor-System

103

lonisationsvakuummeter mit radioaktiver Strahlungsquelle

98

lonisierungsfalle

69

Kinetische Vakuumpumpe

42

Kompressionsvakuummeter

88

78

Kondensationspumpe

64

Kreiskolbenvakuumpumpe

41

Kryovakuumpumpe

65

67

Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode

104

Massenspektrometer

107

Maximal Wasserdampf

76

Maximal Vorvakuumdruck

73

Maximaler Arbeitsdruck

74

Membranvakuummeter

90

108

Molekularvakuummeter

96

Nadelvakuumventil

16

(flussigkeitsgedichtete) Vakuumpumpe

32

Partialdruckvakuummeter

106

Penningvakuummeter

100

71

Pumpstand

8

Radialische Turbovakuumpumpe

45

Reibungsvakuummeter

92

Relative Vakuummeterempfundlichkeit

110

Rotationsvakuumpumpe

29

35

70

Selbstreinigende

53

Sorptionsfalle

68

Sorptionspumpe

57

Sperrschiebervakuumpumpe

38

Startdruck

72

Stickstoffaquivalentdruck

112

Sublimationsgettervakuumpumpe

60

Thermistor-Vakuummeter

95

Thermokreuz

94

Totaldruckvakuummeter

85

Treibmittelstrachlvakuumpumpe

50

Treibmittelvakuumpumpe

46

Trockenlaufende Vakuumpumpe

34

Turbovakuumpumpe

43

U-leitung Vakuummeter

87

Umwegleitung

20

Untergrunddruck

113

Vakuum

1

Vakuumanlage

6

Vakuumbereiche

3

17

Vakuumeinheit

7

Vakuumkamer

9

Vakuummeter

79

Vakuummeterkonstante eines lonisationsvakuummeters

111

Vakuumpumpe

11

4

Vakuumpumpkombination

66

Vakuumrohrleitung

18

Vakuumschlensenventil

14

Vakuumsicherheitsvorrichtung

21

Vakuumsystem

5

Vakuumsystemselement

10

Vakuumtechnik

2

Vakuumventil

13

30

Vorpumpenrohrleitung

19

Vorvakuumpumpe

25, 27

40

93

77

Absolute vacuum gauge

80

Admittance vacuum valve

15

Adsorption vacuum pump

58

Air admittance vacuum valve

16

Axial flow turbine vacuum pump

44

Background pressure

113

Backing line

19

Backing vacuum pump

25

Booster vacuum pump

26

Bypass line

20

Cold cathode magnetron gauge

104

Cold trap

67

Combined vacuum pump

66

Compression gauge

88

Compression ratio

78

Condenserpump

64

Cryopump

65

Diaphragm gauge

90

Differential vacuum gauge

81

Diffusion-ejector pump

52

Diffusion pump

51

Discharge tube indicator

105

Dry-sealed vacuum pump

34

Ejector vacuum pump

50

Elastic element gauge

89

Electronic type ionization vacuum

101

Element of vacuum system

10

Entrapment vacuum pump

56

Equal vessel

22

Equivalent nitrogen pressure

112

Extractor gauge

103

Fractionating diffusion pump

54

Gas ballast vacuum pump

33

Gas jet vacuum pump

48

Gauge control unit

83

Gauge indicating unit

84

Gauge pressure transducer

82

Getter ion vacuum pump

61

Getter vacuum pump

59

High vacuum pump

24

Ion transfer vacuum pump

55

Ion trap

69

Ionization gauge coefficient

111

Ionization vacuum gauge

97

Jet kinetic vacuum pump

46

Kinetic vacuum pump

42

Liquid jet vacuum pump

47

Liquid level manometer

86

Liquid ring vacuum pump

39

Mass spectrometer

107

Maximum backing pressure

73

Maximum rate of handling water vapour

76

Maximum tolerable water vapour inlet pressure

77

Maximum working pressure

74

Oil-sealed (liquid-sealed) vacuum pump

32

Partial pressure vacuum gauge

106

Penning gauge

100

Piston vacuum pump

31

Positive displacement vacuum pump

30

Pressure balance

91

Pressure range

108

Pumped container

9

Pumping rate

70

Pumping station

8

Pump for gas transporting

28

Radial flow turbine vacuum pump

45

Radioactive ionization gauge

98

Ranges of vacuum

3

Relative sensitivity factor

110

Roots vacuum pump

40

Rotary piston vacuum pump

37

Rotary plunger vacuum pump

38

Rotary vacuum pump

35

Rough vacuum pump

23

Roughing vacuum pump

27

Self purifying diffusion pump

53

Sensitivity

109

Sliding vane rotary vacuum pump

36

Sorption trap

68

Sorption vacuum pump

57

Sputter ion gauge

99

Sputter ion pump

63

Starting pressure

72

Sublimation ion vacuum pump

62

Sublimation vacuum pump

60

Thermal conductivity gauge

93

Thermistor gauge

95

Thermocouple gauge

94

Thermo-molecular gauge

96

Total pressure vacuum gauge

85

Trap

12

Trochoid pump

41

Turbine vacuum pump

43

Twin-wire oscillator gauge

102

Ultimate pressure of vacuum pump

75

U-tube vacuum gauge

87

Vacuum

1

Vacuum feedthrough

17

Vacuum gate valve

14

Vacuum mechanical pump

29

Vacuum pipework

18

Vacuum plant

6

Vacuum protective device

21

Vacuum pump

11

Vacuum pump oil

4

Vacuum system

5

Vacuum technology

2

Vacuum unit

7

Vacuum valve

13

Vacuummeter

79

Vapour jet vacuum pump

49

Viscosity gauge

92

Volume flow rate of vacuum pump

71

Analyseur de pressions partielles

106

Avec unetube en U-

87

Ballon de pression

22

de pompage de vapeur d'eau admissible

76

Coefficient d'un ionisation

111

Coffret d'alimentation et de mesure

83

Conduite bypass

20

Conduite vide

18

Conduite vide

19

d'une pompe vide

71

70

turbine

43

turbine flux axial

44

turbine flux radial

45

roots

40

Dispositif de

21

Dispositif indicateur

84

Domaines de vide

3

Ejecteur gaz pour Ie vide

48

Ejecteur vapeur pour Ie vide

49

Element du vide

10

Enceinte

9

Etendue de mesurage

108

Facteur de relative

110

Huile de pompe vide primaire

4

Installation de vide

6

compression

88

conduction thermique

93

89

differentiel

81

oscillants

102

extracteur

103

ionisation

97

ionisation faisceau

101

liquide

86

membrane

90

piston

91

source radioactive

98

thermistance

95

thermocouple

94

vide

79

92

absolu

80

de Penning

100

de totale

85

81

ionique pulverisation

99

cathode froide

104

thermomoleculaire

96

Passage du vide

17

12

sorption

68

ionique

69

refroidi

67

Pompe diffusion

51

Pompe diffusion autorectifiante

53

Pompe diffusion et ejecteur

52

Pompe diffusion fractionnante

54

Pompe ionisation vide

55

Pompe vide

11

Pompe vide anneau liquide

39, 47

Pompe vide bain d'huile ( bain de liquide)

32

Pompe vide ejecteur

50

Pompe vide fixation

56

Pompe vide physisorption

58

Pompe vide injection de gaz

33

Pompe vide jet

46

Pompe vide palettes

36

Pompe vide piston alternatif

31

Pompe vide piston oscillant

38

Pompe vide piston tournant

37

Pompe vide sorbeur

59

Pompe vide sorption

57

Pompe vide sublimation sorbeur

60

Pompe vide

42

Pompe vide

66

Pompe vide du transport gazeus

28

Pompe vide

26

Pompe vide ionique sorbeur

61

Pompe vide ionique sublimation

62

Pompe vide primaire

23

Pompe vide

34

Pompe vide secondaire

24

Pompe vide tournant

35

Pompe vide

30

Pompe condenser

64

Pompe cryostatique

65

Pompe ionique

63

Pompe vide

29

Pompe pour Ie vide

27

Pompe primaire pour Ie vide

25

Pompe trochoide

41

Pression d'amorcage

72

Pression d'azote

112

Pression maximale de fonctionnement

74

Pression maximale de refoulement

73

Pression limite d'une pompe vide

75

Pression maximale d'aspiration de vapeur d'eau

77

Pression residuelle

113

Robinet aiguille

16

Robinet d'air

15

109

Soupape de vide

13

de masse

107

Stand de pompage

8

vide

5

Taux de compression

78

Technique du vide

2

Transducteur de mesure pression

82

Tube

105

vide

7

14

Vide

1

Термин

Определение

1. Газ

Состояние вещества, при котором движение молекул практически не ограничено межмолекулярными силами, так что вещество может занимать любое доступное пространство.

Примечания:

1. Под газом понимают химически индивидуальный газ и смесь газов.

2. В вакуумной технике этот термин применяют к неконденсирующемуся газу и к пару

2. Неконденсирующийся газ

Газ, который во всем диапазоне рабочих температур не может быть переведен в конденсированную фазу только путем увеличения его давления

3. Идеальный газ

По ГОСТ 23281-78

4. Парциальное давление газа

Давление, оказываемое химически индивидуальным газом, содержащимся в газовой смеси, равное давлению, которое оказывал бы этот газ, если удалить из занимаемого газовой смесью объема остальные газы, при условии сохранения первоначальных объема и температуры

5. Полное давление газа

Сумма парциальных давлений компонентов газовой смеси.

Примечание. Термин применяют, если термин "Давление" четко не указывает на разницу между отдельными парциальными давлениями и их суммой

6. Давление газа на ограничивающую поверхность

Нормальная составляющая силы, действующей со стороны газа на ограничивающую поверхность, деленная на площадь этой поверхности.

Примечание.

1. При наличии потока молекул газа указывают ориентацию поверхности по отношению к вектору этого потока.

2. Термин "Давление" без дополнительных определений означает статическое давление в газе при его установившемся течении

7. Давление в определенной точке газового пространства

Скорость переноса нормальной составляющей количества движения, связанного с движением молекул в обоих направлениях через площадку на воображаемой плоскости, проходящей через эту точку, деленная на величину этой площадки.

Примечание. При наличии потока молекул газа указывают ориентацию плоскости по отношению к вектору этого потока

8. Количество газа

Произведение объема, занимаемого газом, находящимся в равновесном состоянии, на его давление

9. Пар

Газ, верхний предел рабочих температур которого ниже критической температуры сжижения

10. Насыщенный пар

Пар, находящийся при данной температуре в термодинамическом равновесии с одной из конденсированных фаз рассматриваемого вещества

11. Давление насыщенного пара

Давление пара, находящегося при данной температуре в термодинамическом равновесии с одной из его конденсированных фаз

12. Ненасыщенный пар

Пар, давление которого меньше давления насыщенного пара рассматриваемого вещества при заданной температуре

13. Степень насыщения пара

Отношение давления пара к давлению насыщенного пара

14. Молекулярная концентрация

Число молекул газа в единице объема

15. Молекулярная концентрация заданного компонента

Число молекул заданного компонента в единице объема

16. Плотность газа

Масса единицы объема газа

17. Плотность газа, приведенная к единице давления

Плотность газа, деленная на его давление

18. Длина свободного пути молекул

Длина пути, пройденного молекулой между двумя последовательными столкновениями с другими молекулами

19. Средняя длина свободного пути молекулы

Среднее арифметическое значение длин свободного пути молекул

20. Число столкновений молекул в единицу времени

Среднее арифметическое число столкновений, испытываемое молекулой за единицу времени при движении ее относительно других молекул

21. Число столкновений молекул в единице объема за единицу времени

-

22. Диффузия газа

Движение газа в другой среде под влиянием градиента концентрации.

Примечание. Средой может быть другой газ (в этом случае наблюдается взаимная диффузия) или конденсированная фаза

23. Коэффициент диффузии газа

По ГОСТ 23281-78

24. Течение газа

Перемещение газа в трубопроводе под действием разности давлений или температур на его концах

25. Ламинарное течение

По ГОСТ 23281-78

26. Турбулентное течение

По ГОСТ 23281-78

27. Вязкостное течение

Течение газа в трубопроводе в условиях, когда средняя длина свободного пути молекул очень мала по сравнению с наименьшим внутренним поперечным размером трубопровода, так что поток зависит от плотности газа.

Примечание. Течение может быть ламинарным или турбулентным

28. Пуазейлевское течение

Ламинарное вязкостное течение в длинной трубе круглого сечения

29. Молекулярное течение

Течение газа в трубопроводе при условиях, когда средняя длина свободного пути молекул значительно превышает внутренний размер поперечного сечения трубопровода

30. Молекулярно-вязкостное течение

Течение газа в трубопроводе при условиях, промежуточных между ламинарным вязкостным течением и молекулярным течением

31. Эффузионное течение

Течение газа через отверстие, когда наибольший размер отверстия меньше средней длины свободного пути молекул

32. Температурная транспирация

Течение газа между соединенными сосудами вследствие разности температур сосудов, результатом которой является образование градиента давлений

33. Поток молекул

Число молекул, проходящих через некоторое сечение в единицу времени

34. Результирующий поток молекул

Разность числа молекул, пересекающих в единицу времени некоторую поверхность в одном направлении, и числа молекул, пересекающих ее в обратном направлении

35. Плотность потока молекул

Результирующий поток молекул, деленный на площадь поверхности, которую он пересекает

36. Массовый поток газа

Масса газа, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени

37. Объемный поток газа

Объем газа при указанных температуре и давлении, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени

38. Молярный поток газа

Число молей газа, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени

39. Распределение Максвелла по скоростям

Распределение по скоростям, соответствующее функции распределения Максвелла-Больцмана.

Примечание. Распределение Максвелла-Больцмана по скоростям соответствует распределению по скоростям молекул газа, находящегося в состоянии равновесия при заданной температуре на расстоянии от стенок сосуда намного большем, чем средняя длина свободного пути молекул

40. Вероятность прохождения

Вероятность того, что молекула, вошедшая через входное отверстие канала, выйдет через его выходное отверстие и не пройдет входное отверстие в обратном направлении

41. Проводимость элемента вакуумной системы

Свойство, характеризуемое отношением потока газа, проходящего по каналу или через отверстие, к разности давлений в двух указанных сечениях канала или по обеим сторонам отверстия

42. Внутренняя проводимость элемента вакуумной системы

Проводимость в частном случае, когда канал (или отверстие) соединяет два сосуда при условии максвелловского распределения молекул по скоростям в обоих сосудах.

Примечание. В случае молекулярного течения внутренняя проводимость равна произведению проводимости входного отверстия и вероятности его прохождения

43. Молекулярная проводимость элемента вакуумной системы

Проводимость, определяемая отношением потока молекул к разности средних чисел молекул в единице объема по обеим сторонам отверстия или в двух поперечных сечениях канала

44. Сопротивление элемента вакуумной системы

Величина, обратная проводимости элемента вакуумной системы

45. Сорбция

Захват газа или пара твердым телом или жидкостью

46. Адсорбция

Сорбция, при которой газ или пар удерживаются на поверхности твердого вещества или жидкости

47. Абсорбция

Сорбция, при которой газ диффундирует в объем твердого тела или жидкости

48. Физическая сорбция

Сорбция под действием физических сил, при которой не образуются химические связи

49. Хемосорбция

Сорбция, при которой происходит образование химических связей

50. Коэффициент аккомодации

Величина, определяемая отношением средней энергии, реально передаваемой поверхности налетающими молекулами, к средней энергии, которая была бы передана поверхности налетающими молекулами, если бы они отрывались от поверхности после достижения с нею полного теплового равновесия

51. Частота столкновений

Число молекул, сталкивающихся с единицей площади поверхности в единицу времени

52. Скорость конденсации

Число молекул, конденсирующихся на единице площади поверхности в единицу времени

53. Скорость прилипания

Число молекул, сорбируюшихся на единице площади поверхности в единицу времени

54. Вероятность прилипания

Отношение скоростей прилипания к частоте столкновений

55. Время удержания

Среднее время, в течение которого молекулы удерживаются на поверхности в состоянии сорбции

56. Миграция

Движение молекул на поверхности

57. Десорбция

Освобождение газов или паров, сорбированных каким-либо материалом

58. Скорость десорбции

Количество газа, десорбирующееся с единицы площади поверхности в единицу времени

59. Скорость испарения

Число молекул вещества, испаряющегося с единицы площади поверхности в единицу времени

60. Просачивание

Процесс прохождения газа через твердый барьер.

Примечание. Процесс включает в себя диффузию газа в твердом теле и различные поверхностные явления

61. Проницаемость твердой перегородки

Отношение потока газа через перегородку к потоку газа через то же сечение при отсутствии перегородки, являющееся функцией давлений по обе стороны перегородки и структуры перегородки

62. Коэффициент проницаемости газа

Величина, определяемая произведением проницаемости на отношение толщины перегородки к ее площади

63. Условный проход

Диаметр проходного сечения элемента вакуумной системы, определяющий присоединительные размеры по действующим стандартам

64. Манометр

По ГОСТ 8.271-77

65. Откачка

Уменьшение молекулярной концентрации газа при помощи устройств, удаляющих или поглощающих газ

66. Газовыделение

Самопроизвольное выделение газа из материала в вакуум

67. Обезгаживание

Принудительное удаление газа из материала

68. Обратная диффузия

Диффузия газа в направлении, противоположном направлению откачки

69. Обратная миграция

Поверхностная миграция масла в откачиваемый объем по внутренним поверхностям вакуумной системы в направлении, противоположном направлению откачки

70. Рабочее вещество

Вещество или его пары, используемое для увлечения откачиваемых газов в струйных вакуумных насосах

71. Радиочастотный масс-спектрометр

Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в радиочастотном продольном электрическом поле

72. Квадрупольный масс-спектрометр

Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в высокочастотном электрическом поле анализатора, образованного четырьмя параллельными электродами

73. Монополярный масс-спектрометр

Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в высокочастотном электрическом поле анализатора, состоящего из двух электродов

74. Масс-спектрометр с магнитным отклонением

Масс-спектрометр, в котором ускоренные ионы, имеющие разные массы, под действием магнитного поля движутся по различным круговым траекториям

75. Циклоидальный масс-спектрометр

Масс-спектрометр, в котором ионы разделяются скрещенными электрическим и магнитным полями, в которых они следуют по различным циклоидным траекториям, в результате чего ионы фиксируются в разных точках в зависимости от отношения массы к заряду

76. Омегатронный масс-спектрометр

Масс-спектрометр, в котором ионы разделяются при движении по спиральным траекториям в радиочастотном электрическом и постоянном магнитном полях, перпендикулярных друг другу

77. Времяпролетный масс-спектрометр

Масс-спектрометр, в котором газ ионизируется электронным пучком с импульсной модуляцией и ускоряющиеся в пространстве дрейфа ионы разделяются по времени прибытия на коллектор в зависимости от отношения массы иона к заряду

Термин по ГОСТ 5197-85

Термин по СТ СЭВ 4839-84,
по СТ СЭВ 4751-84

Вакуумная ловушка

Ловушка

Вакуумное защитное устройство

Устройство задержки газового потока

Бустерный вакуумный насос

Бустерный насос

Вакуумный насос предварительного разрежения

Насос предварительного разрежения

Трохоидный вакуумный насос

Трохоидальный вакуумный насос

Струйный вакуумный насос

Струйный кинетический вакуумный насос

Газоструйный вакуумный насос

Газоэжекторный вакуумный насос

Пароструйный вакуумный насос

Пароэжекторный вакуумный насос

Вакуумный крионасос

Криогенный вакуумный насос

Испарительный геттерный вакуумный насос

Сублимационный вакуумный насос

Рабочее вещество

Откачивающий элемент

Конденсационная вакуумная ловушка

Конденсационная охлаждаемая ловушка

Сорбционная вакуумная ловушка

Сорбционная ловушка

Ионная вакуумная ловушка

Ионная ловушка

Быстрота откачки

Быстрота откачки вакуумного насоса

Молекулярная концентрация заданного компонента

Концентрация молекул заданного компонента

Число столкновений в единице объема за единицу времени

Объемное число столкновений в единицу времени

Полное давление газа

Полное давление

Парциальное давление газа

Парциальное давление

Массовый поток газа

Массовый расход газа

Объемный поток газа

Объемный расход газа

Молярный поток газа

Молярный расход газа

Проницаемость твердой перегородки

Проницаемость

Физическая сорбция

Физисорбция

Средняя длина свободного пути молекул

Средняя длина свободного пробега молекул

Проводимость элемента вакуумной системы

Проводимость

Внутренняя проводимость элемента вакуумной системы

Внутренняя проводимость

Сопротивление элемента вакуумной системы

Сопротивление

Проницаемость твердой перегородки

Проницаемость

Коэффициент проницаемости газа

Коэффициент проницаемости

Наибольшее давление запуска вакуумного насоса

Наибольшее давление запуска вакуумного насоса (начальное давление)

Предельное остаточное давление вакуумного насоса

Предельное давление вакуумного насоса

Наибольшая производительность вакуумного насоса по парам воды

Производительность вакуумного насоса по водяному пару

Наибольшее допустимое давление паров воды

Максимально допустимое впускное давление водяного пара